真空有跳动就是漏气,无跳动一般扩散泵有问题,或者是腔室进水
应该不是漏气吧,最大的可能是你的电离规管有问题,可以换个试试,原因分析:10的负一次方大概正处于热偶计与电离计的交叉点,这是由于电离计有问题,所以它的压强信号传不到真空计中,造成真空计测不到它的压强信号…
漏气了
滑阀泵不行吧
漏气