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光刻工艺中强碱去膜什么意思?膜指的是什么?我是新手,不太懂,大家帮忙解释一下,谢谢啦！
光刻工艺中强碱去膜什么意思?膜指的是什么?我是新手,不太懂,大家帮忙解释一下,谢谢啦！
2025-06-28 01:49:21
推荐回答（2个）
回答1：
光刻胶
光刻胶在曝光后其成分会发生改变，而这些成分在低浓度的强碱中的溶解速度是不同的。控制好光刻胶在强碱溶液中的时间，就能改变光刻胶的分布情况，为下步蚀刻做准备。
回答2：
汗...是光刻胶吧...还是氧化层？
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